Como resultado, contribuye a la creación de patrones finos y a la mejora del rendimiento de producción en la litografía sin máscara para el encapsulado avanzado de semiconductores.
* A fecha 16 de enero de 2026, según investigaciones internas de Nuvoton sobre láseres semiconductores que emiten a 379 nm en encapsulado TO-9 bajo operación continua (CW) a una temperatura de carcasa (Tc) de 25 °C.
Logros principales
Alcanza una potencia óptica de clase 1,0 W a 379 nm, contribuyendo a un patrón más fino y a una mayor productividad en litografía sin máscara para empaquetado avanzado de semiconductores.
Mejora la disipación térmica de los láseres ultravioleta mediante una estructura de dispositivo y tecnología de encapsulado propias, suprimiendo la degradación causada por el auto-calentamiento y la radiación UV, y ampliando la vida útil de los equipos ópticos.
Amplía la gama de soluciones de sustitución de lámparas de mercurio, aumentando la flexibilidad en la selección de productos según la aplicación.
Características del nuevo producto
1. Alta potencia de 1,0 W a 379 nm
El avance de la inteligencia artificial está impulsando una creciente demanda de mayores capacidades de procesamiento, lo que exige semiconductores de mayor rendimiento. A medida que la miniaturización de los transistores se acerca a sus límites físicos y económicos, el empaquetado avanzado de semiconductores —que permite la integración mediante chips colocados en paralelo o apilados verticalmente— cobra cada vez más importancia.
En este contexto, la litografía sin máscara, que permite exponer directamente patrones de cableado a partir de datos de diseño sin necesidad de fotomáscaras, está ganando interés por reducir costes y plazos, así como por facilitar la alineación y corrección en superficies complejas.
Como fuente de luz clave en esta tecnología, los láseres semiconductores requieren longitudes de onda más cortas, cercanas a la línea i (365 nm), y mayor potencia. Aprovechando más de 40 años de experiencia en diseño y fabricación de láseres, Nuvoton ha desarrollado y comercializado este láser ultravioleta de 379 nm y 1,0 W.
2. Mejora de la disipación térmica y mayor vida útil
Los láseres ultravioleta suelen generar mucho calor debido a su baja eficiencia de conversión eléctrica-óptica (WPE) y a la degradación inducida por la radiación UV. Nuvoton ha abordado este reto combinando una estructura de dispositivo que mejora la WPE con una tecnología de encapsulado de alta conductividad térmica, logrando una operación estable a alta potencia y una mayor vida útil del dispositivo.
3. Sustitución de lámparas de mercurio
Este nuevo producto se incorpora a la gama de alternativas basadas en láser semiconductor para sustituir lámparas de mercurio, ofreciendo a los clientes mayor libertad en el diseño de sistemas según la aplicación, el entorno y los requisitos de rendimiento.
Aplicaciones
Litografía sin máscara (LDI)
Curado de resinas
Marcado
Impresión 3D
Biomédica
Sustitución de lámparas de mercurio
Nombre del producto: KLC330FL01WW
Longitud de onda: 379 nm
Potencia óptica: 1,0 W
Encapsulado: TO-9 CAN
Inicio de producción en masa: marzo de 2026
