La AVS1000 es la incorporación más reciente a la completa gama de soluciones de microposicionamiento elevación vertical en eje Z de Aerotech y tiene como objetivo la elevación sub-micrónica precisa de cargas grandes y pesadas en la fabricación de semiconductores, la alineación de herramientas automatizadas, la inspección visual y el micro-mecanizado láser.

 

Con una altura de trabajo de tan solo 140 mm, el diseño tiene una cuña móvil vía tornillo esférico de precisión accionado por servomotor con cojinetes de guía de movimiento lineal para cargas pesadas. El sistema entero ocupa una superficie total de 450 x 500 mm. Las cargas se pueden centrar directamente sobre el sistema de cojinetes y las características de recorrido del sistema de cuña son tan rectas que garantizan que la parte superior de la mesa esté siempre plana y obtiene así excelentes características de precisión.

 

El modelo AVS1000 presenta una gran abertura de acceso para microscopios o aplicaciones de adquisición de imágenes en las que es necesario una trayectoria óptica ininterrumpida o en donde utillajes sean integrados bajo la placa superior para mantener bajo el punto de interés.

La mesa de elevación vertical tiene una capacidad de carga centrada de 135 kg y está disponible en una selección de rangos de recorrido vertical de 5 mm o más según lo que la aplicación demande. Con una resolución de posicionamiento de cinco nanómetros, la mesa dispone de una precisión calibrada que mejora el valor de +/- 1,0 micras y una repetibilidad bidireccional de hasta +/- 0,5 micras.

El material de base de aluminio de la AVS1000 tiene un duradero acabado anodizado negro para la gama estándar o acabado alternativo en níquel químico para aplicaciones de protección de ESD. También se ofrece una versión compatible con sala aséptica así como versiones preparadas para vacío para 10-3(((-3 elevado))) o 10-6(((-6 elevado))) torr.

La AVS1000 incluye un montaje de motor NEMA 34 para su uso con servomotores de la serie BMS de Aerotech para obtener un movimiento suave. El codificador giratorio de 1000 líneas pude ser elegido como TTL o Sine para adaptarse a los requisitos de resolución de los clientes.
Estas mesas se pueden utilizar solas o junto con mesas linearles, rotativas para una solución completa de micro-posicionamiento de varios ejes. Las mesas AVS1000 se pueden proporcionar con precisión estándar o HALAR, en donde los errores medidos mediante interferómetro en fábrica se almacena en el controlador de movimiento y así se compensan para mejorar la precisión y repitibilidad. El control se realiza mediante una combinación de software y hardware e incluye comandos de movimiento avanzado que optimizan el rendimiento, reducen el tiempo de puesta en marcha, aumentan la capacidad de producción y permiten un mejor acabado de las piezas a producir.

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