Mesas de nanoposicionamiento piezoeléctricos XY
Las mesas de nanoposicionamiento piezoeléctricas de la serie QNP-XY para aplicaciones de precisión ofrecen una resolución de 0,15 nm, linealidad de 0,007 % y repetibilidad de 2 nm de estos.
La variedad de recorridos (de 100 μm a 600 μm), las opciones de realimentación y las versiones de vacío añaden gran versatilidad a esta serie de mesas.
Unas juntas flexibles de precisión guían las mesas piezoeléctricas QNP-L optimizadas mediante el análisis de elementos finitos. El diseño resultante ofrece rigidez y frecuencia de resonancia (hasta 885 Hz) para obtener un elevado rendimiento del proceso y una rápida respuesta en bucle cerrado. Además, el formato XY integrado reduce al mínimo la altura total del sistema y reduce la masa en movimiento de las mesas para conseguir un rendimiento muti-eje superior (estáticos y dinámicos).
Todas las mesas piezoeléctricas QNP ofrecen realimentación en bucle cerrado opcional mediante el uso de un diseño único de sensor capacitivo que proporciona alta linealidad y una resolución de posicionamiento inferior a un nanómetro. Los sensores capacitivos miden directamente la salida del carro de posicionamiento, lo que permite obtener una mayor linealidad y repetibilidad.
Gracias a los controladores y reguladores de la serie Q de Aerotech, las mesas piezoeléctricas QNP demuestran una resolución de posicionamiento inferior a un nanómetro, estabilidad en posición y un ancho de banda de alto posicionamiento. Las opciones de software como Dynamic Controls Toolbox y Motion Designer de Aerotech proporcionan una gran variedad de herramientas avanzadas y fáciles de usar, como el aprendizaje automático, la cancelación armónica y la creación de comandos, lo que ofrece un mejor seguimiento de errores y tiempos de paso y asentamiento más rápidos.
Las mesas piezoeléctricas QNP están disponibles con realimentación de sensores capacitivos o sin realimentación (circuito abierto). El circuito abierto proporciona una opción rentable para las aplicaciones que requieren una resolución de posicionamiento inferior a un namómetro de tamaño compacto y alto rendimiento dinámico, pero que no necesitan una precisión de posicionamiento absoluta y repetibilidad. Los diseños de circuito abierto también se pueden utilizar cuando la posición piezoeléctrica está controlada mediante una fuente de realimentación externa (interferómetro, sistema de visión, fotodetector, etc.).
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